Ang
Photolithography ay isang prosesong ginagamit sa microfabrication upang ilipat ang mga geometric na pattern sa isang pelikula o substrate. Ang mga geometric na hugis at pattern sa isang semiconductor ay bumubuo sa mga kumplikadong istruktura na nagbibigay-daan sa mga dopant, electrical properties at mga wire na kumpletuhin ang isang circuit at matupad ang isang teknolohikal na layunin.
Ano ang proseso ng photolithography?
Ang
Photolithography, na tinatawag ding optical lithography o UV lithography, ay isang prosesong ginagamit sa microfabrication upang i-pattern ang mga bahagi sa manipis na pelikula o ang bulk ng substrate (tinatawag ding wafer). … Sa mga kumplikadong integrated circuit, ang isang CMOS wafer ay maaaring dumaan sa photolithographic cycle nang hanggang 50 beses.
Ano ang proseso ng microfabrication?
Ang
Microfabrication ay ang proseso ng paggawa ng maliliit na istruktura ng micrometre scale at mas maliit. … Ang mga pangunahing konsepto at prinsipyo ng microfabrication ay microlithography, doping, thin films, etching, bonding, at polishing.
Ano ang proseso ng lithography sa semiconductors?
Ang isang semiconductor lithography system ay nagsasagawa ng isang proseso kung saan ang napakasalimuot na mga pattern ng circuit na iginuhit sa isang photomask na gawa sa isang malaking glass plate ay nababawasan gamit ang mga ultra-high-performance lens at nakalantad sa isang silicon substrate na kilala bilangisang wafer. …
Ano ang lithography sa proseso ng paggawa?
Ang
Lithography ayang proseso ng paglilipat ng mga pattern ng mga geometric na hugis sa isang maskara sa isang manipis na layer ng materyal na sensitibo sa radiation (tinatawag na resist) na tumatakip sa ibabaw ng isang semiconductor wafer. Ang Figure 5.1 ay naglalarawan ng eskematiko sa proseso ng lithographic na ginamit sa paggawa ng IC.
