Ang
Photolithography ay karaniwang ginagamit upang gumawa ng mga computer chips. Kapag gumagawa ng mga computer chips, ang substrate na materyal ay isang resist covered wafer ng silicon. Ang prosesong ito ay nagbibigay-daan sa daan-daang chips na sabay-sabay na itayo sa isang silicon wafer.
Paano ginagawa ang photolithography?
Ang
Photolithography ay gumagamit ng tatlong pangunahing hakbang sa proseso upang ilipat ang isang pattern mula sa isang mask patungo sa isang wafer: coat, develop, expose. Ang pattern ay inililipat sa ibabaw na layer ng wafer sa panahon ng kasunod na proseso. Sa ilang mga kaso, ang resist pattern ay maaari ding gamitin upang tukuyin ang pattern para sa isang nakadeposito na manipis na pelikula.
Bakit ito tinatawag na photolithography?
Semiconductor Lithography (Photolithography) - Ang Pangunahing Proseso . Ang paggawa ng integrated circuit (IC) ay nangangailangan ng iba't ibang prosesong pisikal at kemikal na ginagawa sa isang semiconductor (hal., silicon) na substrate. … Ang salitang lithography ay nagmula sa Greek na lithos, na nangangahulugang mga bato, at graphia, na nangangahulugang sumulat.
Bakit mahalaga ang lithography?
Ang
Lithography ay ang proseso ng paglilipat ng mga pattern ng mga geometric na hugis sa isang maskara sa isang manipis na layer ng materyal na sensitibo sa radiation (tinatawag na resist) na tumatakip sa ibabaw ng isang semiconductor wafer. Ang Figure 5.1 ay naglalarawan ng eskematiko sa proseso ng lithographic na ginamit sa paggawa ng IC.
Alin ang pinakakaraniwang ginagamit na paraan sa mga pamamaraang lithographic?
OpticalAng lithography ay isang teknik na nakabatay sa photon na binubuo ng pag-project ng isang imahe sa isang photosensitive emulsion (photoresist) na pinahiran sa isang substrate tulad ng isang silicon wafer. Ito ang pinakamalawak na ginagamit na proseso ng lithography sa mataas na volume na pagmamanupaktura ng nano-electronics ng industriya ng semiconductor.
